기존 서비스 그 이상의 서비스를 제공해드리는 에이온 주식회사를 소개합니다.
Plasma Cleaner 01
강력한 성능의
Downstream Plasma Cleaner
혁신적인 기술로 전통적인 방식의 플라즈마 클리너보다 10~20배 이상 빠르게
hydrocarbon을 제거할 수 있는 ibss Group의 GV10x Downstream Asher를
소개합니다.
GV10x Downstream Ahser의 Hydrocarbon 제거율은 30w 기준 15nm / min
입니다. GV10x는 Sputtering 및 Heating으로부터 자유롭습니다. 또한 작동시
0.5mbar~5.0e-10-4mbar의 고진공 영역에서 hydrocarbon을 TMP의 속도저하
없이 안전하게 제거해줍니다.
이제 GV10x로
시간과 비용을 절약해보세요.
GV10x는 시간과 비용을 줄이는데 있어 이미 결과가 입증 되었습니다.
Hydrocarbon-Free를 위해 GV10x Plasma Cleaner는 SEM, FIB
그리고 TEM에 반드시 필요한 제품입니다.
사용자 최적화를 위한
다양한 Controller를 제공합니다.
에이온 주식회사는 사용자 환경에 적합한 GV10x Plasma source의 동력을
공급하고 운영하기 위한 세 가지 종류의 Controller를 제공하고 있습니다.
공간의 활용도를 높인 새로운 디자인의 BR콘트롤러와
스탠다드 디자인의 BT 또는 2U콘트롤러를 만나보세요.
controller OPtion 01
Benchtop
H×W×D - 173 × 209 × 439mm (6.81 × 8.2 × 17.25")
Weight - 16 lbs. / 7.3kg
controller option 02
2U Rackmount
H×W×D - 89 × 432 × 374mm) (3.5 × 17 × 4.7")
Weight - 17lbs / 7.7kg
GV10x P5 source
· 작동 가능 압력 : 2.0 Torr ~ 5mTorr
· 확장 된 전력 범위 : 5-99 Watts RF Power
· 매우 높은 세척 효율성 및 균일성
· 전통적인 방식의 Plasma Cleaner보다 10배 ~ 20배까지 빠르게 오염 감소
· TMP Full Speed에서 전체기능사용
· 초 단위로 제어가능
· No Heating, Sputtering or Etching
