Plasma Cleaner 01

강력한 성능의
Downstream Plasma Cleaner

혁신적인 기술로 전통적인 방식의 플라즈마 클리너보다 10~20배 이상 빠르게
hydrocarbon을 제거할 수 있는 ibss Group의 GV10x Downstream Asher를
소개합니다.

GV10x Downstream Ahser의 Hydrocarbon 제거율은 30w 기준 15nm / min
입니다. GV10x는 Sputtering 및 Heating으로부터 자유롭습니다. 또한 작동시
0.5mbar~5.0e-10-4mbar의 고진공 영역에서 hydrocarbon을 TMP의 속도저하
없이 안전하게 제거해줍니다.

공간 효율성과 성능을 극대화한
BR 컨트롤러

에이온 주식회사는 다양한 실험 환경에 최적화된 GV10x Plasma Source 전용
컨트롤러를 제공합니다.

BR 컨트롤러는 기존 2U 랙마운트 컨트롤러와 벤치탑 컨트롤러(BT)의 장점을 결합하여
공간 활용성과 조작 편의성을 극대화한 최신 디자인을 적용하였습니다.

• 컴팩트한 사이즈로 실험 공간 최적화
• 직관적인 인터페이스와 향상된 조작 편의성
• GV10x GUI 소프트웨어(Windows OS) 완벽 호환
• 옵토아이솔레이트(Opto-isolated) 통신 포트를 통한 원격 제어 지원
• 정확한 On/Off, 타이머, 튜닝 전압 조정 기능 제공
• 100-230VAC 전원 지원, 13.56MHz 주파수, 500VA 출력

더 스마트하고 강력한 BR 컨트롤러로 실험 환경을 혁신하세요.