KOR

Plasma Cleaner

기존 서비스 그 이상의 서비스를 제공해드리는 에이온 주식회사를 소개합니다.

Plasma Cleaner 01

강력한 성능의
Downstream Plasma Cleaner

혁신적인 기술로 전통적인 방식의 플라즈마 클리너보다 10~20배 이상 빠르게
hydrocarbon을 제거할 수 있는 ibss Group의 GV10x Downstream Asher를
소개합니다.

GV10x Downstream Ahser의 Hydrocarbon 제거율은 30w 기준 15nm / min
입니다. GV10x는 Sputtering 및 Heating으로부터 자유롭습니다. 또한 작동시
0.5mbar~5.0e-10-4mbar의 고진공 영역에서 hydrocarbon을 TMP의 속도저하
없이 안전하게 제거해줍니다.

이제 GV10x로
시간과 비용을 절약해보세요.

GV10x는 시간과 비용을 줄이는데 있어 이미 결과가 입증 되었습니다.
Hydrocarbon-Free를 위해 GV10x Plasma Cleaner는 SEM, FIB
그리고 TEM에 반드시 필요한 제품입니다.

2가지 옵션의 Controller를
제공하고 있습니다.

에이온 주식회사는 GV10x 플라스마 소스의 동력을 공급하고 운영하기 위한
두 개의 서로 다른 콘트롤러를 제공하고 있습니다.

BT콘트롤러 와 2U콘트롤러 중 원하시는 것을 선택하실 수 있습니다.
ibss GUI 소프트웨어는 이 두 개의 콘트롤러들과 호환됩니다.

controller OPtion 01

Bench Top controller

GV10x GUI 소프트웨어와 호환 (윈도우OS) GUI 를 설치할 수 없을 때
운영을 위해 BT에 터치 패널 포함

controller option 02

2U controller

GV10x GUI 소프트웨어와 호환 (윈도우OS) 경량으로 수동 버튼
패널 없이 조작가능

GV10X P5 source

· 작동 가능 압력 : 5mbar~5.0e-10-4mbar
· 확장 된 전력 범위 : 5-100 Watts RF Power
· 매우 높은 세척 효율성 및 균일성
· 전통적인 방식의 Plasma Cleaner보다 10배 ~ 20배까지 빠르게 오염 감소
· TMP Full Speed에서 전체기능사용
· 초 단위로 제어가능
· No Heating, Sputtering, or Etching

업체명
이름 연락처